等離子去膠機(jī)，等離子表面處理機(jī)采用國(guó)內(nèi)射頻源，其電磁兼容性能優(yōu)良、高頻輻射小，符合國(guó)家環(huán)保規(guī)定。本機(jī)外形美觀(guān)大方，操作簡(jiǎn)便。等離子去膠機(jī)，半導(dǎo)體工藝表面處理機(jī)適于對(duì)基片進(jìn)行去膠、清洗等工藝。該設(shè)備具有去膠工藝簡(jiǎn)單、可靠、、速率快、成品率高、處理后無(wú)酸氣廢水等殘留等特點(diǎn)。

產(chǎn)品型號(hào)：
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2025-09-16
訪(fǎng) 問(wèn) 量：3083

立即咨詢(xún)

聯(lián)系電話(huà)：021-31434441

產(chǎn)品詳情

等離子去膠機(jī)，等離子表面處理機(jī)簡(jiǎn)介
等離子去膠機(jī)的真空腔采用石英管結(jié)構(gòu)，適于對(duì)基片進(jìn)行去膠、清洗等工藝。該設(shè)備具有去膠工藝簡(jiǎn)單、可靠、*、速率快、成品率高、處理后無(wú)酸氣廢水等殘留等特點(diǎn)。等離子表面處理機(jī)采用優(yōu)射頻源，其電磁兼容性能優(yōu)良、高頻輻射小，符合國(guó)家環(huán)保規(guī)定。本機(jī)外形美觀(guān)大方，操作簡(jiǎn)便。
等離子去膠機(jī)，等離子表面處理機(jī)主要配置及技術(shù)指標(biāo)：
　　l、電源：?jiǎn)蜗?20V 50Hz，2KW
　　2、射頻源：國(guó)產(chǎn)， f=13.56MHz 50～500W連續(xù)可調(diào)，全自動(dòng)匹配
　　3、氣體控制：氧氣和氮?dú)鈿鈨陕?，美?guó)進(jìn)口浮子流量計(jì)控制
　　4、真空獲得方式：2L機(jī)械泵
　　5、真空度：優(yōu)于-100KPa
　　6、氣體流量：0～5L/min
　　7、真空腔：石英腔。尺寸：￠200X300mm
　　8、產(chǎn)能：每次20片（2"-4"）
　　9、觸摸屏+PLC控制
　　l0、控制方式：自動(dòng)/手動(dòng)，自動(dòng)模式下可實(shí)現(xiàn)一鍵完成整個(gè)工藝過(guò)程
　　l1、整機(jī)采用松下plc和觸摸屏控制
　 12、反射自動(dòng)匹配
　　a、zui大負(fù)荷電流：10ARMS
　　b、zui大負(fù)荷電壓：200VRMS
　　c、傳輸效率：>90％
　　d、匹配時(shí)間：3～5s
　　e、可匹配阻抗實(shí)部范圍：1～500Ω
　　f、可匹配阻抗虛部范圍：－j200～＋j200
　　g、主電容：空氣電容

在線(xiàn)咨詢(xún)

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話(huà)：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話(huà)：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：