HMDS預(yù)處理烘箱在光刻工藝中的重要作用

更新時間：2023-12-13

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HMDS預(yù)處理烘箱在光刻工藝中的重要作用為:增強光刻膠和襯底表面的粘附力。

光刻工藝中涂膠顯影流程包括HMDS（六甲基二硅氮烷，增粘劑）預(yù)處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影和堅膜。

HMDS預(yù)處理作用:

增強光刻膠和襯底表面的粘附力;

實現(xiàn)方法:浸泡、涂覆、氣相處理（即HMDS烘箱）等。

HMDS預(yù)處理烘箱

JS-hmds90烘箱采用氣相沉積的方法涂布HMDS化合物。HMDS烘箱在高溫條件下，達到真空狀態(tài)后開始涂布工藝，涂布完成后排出尾氣，烘箱內(nèi)部充入N2，達到常壓后方可開門。

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤1torr

控制儀表：人機界面，一鍵運行

儲液瓶：HMDS儲液量1000ml

真空泵：無油渦旋真空泵

數(shù)據(jù)處理：多個工藝方案，可修改并記錄，使用數(shù)據(jù)可記錄

保護裝置：低液位報警，HMDS藥液泄漏報&警，超溫保護并斷開加熱，超溫保護，漏電保護，過熱保護等

涂膠

作用:a.轉(zhuǎn)移掩模版圖形到襯底的介質(zhì)b刻蝕工藝中保護襯底;實現(xiàn)方法:浸泡、旋轉(zhuǎn)、噴霧、刷膠等:

前烘

b.蒸發(fā)溶劑;作用:a.增強粘附性實現(xiàn)方法:真空熱板85~120C處理。

曝光

作用:將掩模版圖形轉(zhuǎn)移到襯底表面;實現(xiàn)方法:接觸式、接近式、投影式。

后烘

作用:a.減少駐波效應(yīng)

b.使光刻膠更易溶于顯影液:實現(xiàn)方法:熱板或烘箱等110-130C處理。

顯影作用:去除(未)曝光膠膜,保留圖形實現(xiàn)方法:浸泡、旋轉(zhuǎn)浸泡、旋轉(zhuǎn)噴霧

堅膜

作用:a.進一步減少駐波效應(yīng)

b.進一步增強抗刻蝕能力;實現(xiàn)方法:熱板或堅膜烘箱等100-130C處理